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吉致電子拋光材料 源頭廠(chǎng)家
25年 專(zhuān)注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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福吉電子采用精密技術(shù),提供超高質(zhì)量產(chǎn)品
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[吉致動(dòng)態(tài)]國(guó)產(chǎn)替代|吉致電子硅片CMP拋光液Slurry[ 2025-06-10 15:10 ]
一、CMP拋光技術(shù):半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工藝化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Planarization, CMP)是半導(dǎo)體硅片制造的核心工藝之一,直接影響芯片性能與良率。在硅片加工過(guò)程中,CMP通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面平坦化(粗糙度<0.2nm),滿(mǎn)足先進(jìn)制程對(duì)晶圓表面超潔凈、超平整的要求。吉致電子CMP拋光液的三大核心作用①高效拋光:納米級(jí)磨料(如膠體SiO2)精準(zhǔn)去除表面凸起,提升硅片平整度,減少微劃痕。②潤(rùn)滑保護(hù):特殊添加劑降低摩擦系數(shù)(<0.05),減少
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子:金剛石懸浮液的作用及功效(CMP拋光專(zhuān)用)[ 2025-06-06 17:14 ]
在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、硬質(zhì)合金加工等領(lǐng)域,材料表面的超精密拋光直接決定了產(chǎn)品的性能與可靠性。吉致電子憑借先進(jìn)的研發(fā)實(shí)力和成熟的工藝技術(shù),推出高性能金剛石拋光液/研磨液系列產(chǎn)品,為高硬度材料提供高效、穩(wěn)定的拋光解決方案。吉致電子金剛石懸浮液產(chǎn)品(研磨液/拋光液)可滿(mǎn)足不同拋光需求,根據(jù)材料特性和工藝要求分為以下幾類(lèi):1. 按晶體結(jié)構(gòu)分類(lèi)單晶金剛石拋光液:晶體結(jié)構(gòu)單一,切削力均勻,適合高精度表面拋光,減少亞表面損傷。多晶金剛石拋光液:由多向晶粒組成,材料去除率高,適用于高效粗拋和中拋。類(lèi)多晶金剛石拋光液:兼具單晶和多
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[吉致動(dòng)態(tài)]Fujibo拋光墊國(guó)產(chǎn)替代挑戰(zhàn)與吉致電子解決方案[ 2025-05-30 11:42 ]
Fujibo(日本富士紡)是知名的拋光墊制造商,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶顯示器(LCD)、硬盤(pán)(HDD)藍(lán)寶石襯底等精密加工領(lǐng)域。Fujibo拋光墊因其高精度拋光、均勻性、耐磨性好等特點(diǎn),長(zhǎng)期以來(lái)占據(jù)市場(chǎng)主導(dǎo)地位,但隨著國(guó)內(nèi)技術(shù)的突破和產(chǎn)業(yè)鏈的完善,國(guó)產(chǎn)拋光墊正逐步實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的替代。吉致電子作為國(guó)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)豐富的電子行業(yè)CMP拋光材料供應(yīng)商,致力于為客戶(hù)提供高性?xún)r(jià)比的國(guó)產(chǎn)拋光墊解決方案,助力企業(yè)降本增效,保障供應(yīng)鏈安全。國(guó)產(chǎn)拋光墊替代Fujibo的五大優(yōu)勢(shì)1. 顯著降低成本,提升競(jìng)爭(zhēng)力國(guó)產(chǎn)拋光墊價(jià)格比Fujib
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子:半導(dǎo)體陶瓷CMP工藝拋光耗材解析[ 2025-05-16 17:45 ]
在半導(dǎo)體陶瓷的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝中,吉致電子(JEEZ Electronics)作為國(guó)產(chǎn)CMP耗材供應(yīng)商,其拋光液(Slurry)和拋光墊(Polishing Pad)等產(chǎn)品可應(yīng)用于陶瓷材料的精密平坦化加工。以下是結(jié)合吉致電子的技術(shù)特點(diǎn),半導(dǎo)體陶瓷CMP中的潛在應(yīng)用方案:吉致電子CMP拋光液在半導(dǎo)體陶瓷中的應(yīng)用半導(dǎo)體陶瓷CMP研磨拋光漿料特性與適配性CMP Slurry磨料類(lèi)型:納米氧化硅(SiO2)漿料:適用于SiC、GaN等硬質(zhì)陶瓷,通過(guò)表面氧化反應(yīng)(如SiC + H2O2 → SiO2 +
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[行業(yè)資訊]CMP阻尼布拋光墊:多材料精密拋光的解決方案[ 2025-05-13 15:51 ]
阻尼布拋光墊/精拋墊是CMP工藝中材料納米級(jí)精度的關(guān)鍵保障:在半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝的最后精拋階段,阻尼布拋光墊(CMP精拋墊)扮演著決定晶圓最終表面質(zhì)量的關(guān)鍵角色。這種特殊絲絨狀材料的CMP拋光墊,質(zhì)地細(xì)膩、柔軟,表面多孔呈彈性,使用周期長(zhǎng)。阻尼布拋光墊可對(duì)碳化硅襯底、精密陶瓷、砷化鎵、磷化銦、玻璃硬盤(pán)、光學(xué)玻璃、金屬制品、藍(lán)寶石襯底等材質(zhì)或工件進(jìn)行精密終道拋光,在去除納米級(jí)材料的同時(shí),實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面平整度,是先進(jìn)制程芯片制造不可或缺的核心耗材。精拋階段的特殊挑戰(zhàn)與需求與粗拋或中拋階段不同,精拋工藝面臨
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[常見(jiàn)問(wèn)題]如何解決二氧化硅拋光液結(jié)晶問(wèn)題?吉致電子CMP拋光專(zhuān)家支招[ 2025-05-08 17:28 ]
在半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃等精密制造領(lǐng)域,二氧化硅(SiO2)拋光液因其高精度、低損傷的特性被廣泛應(yīng)用。然而,拋光液在存儲(chǔ)或使用過(guò)程中可能出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)塊現(xiàn)象,輕則影響拋光效果,重則導(dǎo)致工件劃傷甚至報(bào)廢。如何有效避免和解決這一問(wèn)題?吉致電子憑借多年CMP拋光液研發(fā)經(jīng)驗(yàn),為您提供專(zhuān)業(yè)解決方案!一、結(jié)晶原因分析二氧化硅拋光液以高純度硅粉為原料,通過(guò)水解法制備,其膠體粒子在水性環(huán)境中形成穩(wěn)定的離子網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。但若水分流失、溫度波動(dòng)或pH失衡,粒子會(huì)迅速聚集形成硬質(zhì)結(jié)晶。主要誘因包括:存儲(chǔ)不當(dāng)(溫度過(guò)高/過(guò)低、未密封)拋光液停滯(流動(dòng)不
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[行業(yè)資訊]吉致電子:鎢CMP拋光液組成與應(yīng)用解析[ 2025-04-25 10:52 ]
鎢CMP拋光液:半導(dǎo)體關(guān)鍵制程材料的技術(shù)解析——吉致電子高精度平坦化解決方案1. 產(chǎn)品定義與技術(shù)背景鎢化學(xué)機(jī)械拋光液(Tungsten CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程中鎢互連層全局平坦化的專(zhuān)用功能性材料,通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面精度(Ra<0.5nm),滿(mǎn)足高密度集成電路(IC)對(duì)互連結(jié)構(gòu)的苛刻要求。2. 核心組分與作用機(jī)理3. 關(guān)鍵性能指標(biāo)去除速率:200-600 nm/min(可調(diào),適配不同工藝節(jié)點(diǎn))非均勻性(WIWNU):<3% @300mm晶圓選擇
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[吉致動(dòng)態(tài)]鉬襯底的應(yīng)用領(lǐng)域及CMP拋光技術(shù)解析[ 2025-04-23 09:51 ]
鉬(Mo)襯底憑借其高熔點(diǎn)(2623℃)、高熱導(dǎo)率(138 W/m·K)、低熱膨脹系數(shù)(4.8×10-6/K)以及優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度和耐腐蝕性,在半導(dǎo)體、光學(xué)、新能源、航空航天等高科技領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。吉致電子對(duì)鉬襯底的主要應(yīng)用場(chǎng)景解析其化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)關(guān)鍵技術(shù),幫助行業(yè)客戶(hù)更好地選擇和使用鉬襯底拋光液。一、鉬襯底的核心優(yōu)勢(shì)高溫穩(wěn)定性:熔點(diǎn)高達(dá)2623℃,適用于高溫環(huán)境。優(yōu)異的熱管理能力:高熱導(dǎo)率+低熱膨脹系數(shù),減少熱應(yīng)力。高機(jī)械強(qiáng)度:耐磨損、抗蠕變,適合精密器件制造。良好的導(dǎo)電性:適
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[吉致動(dòng)態(tài)]藍(lán)寶石襯底CMP拋光新視野:氧化鋁與氧化硅的多元應(yīng)用[ 2025-04-11 15:47 ]
在藍(lán)寶石襯底的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝中,拋光材料的選擇直接關(guān)系到拋光效果和生產(chǎn)效率。氧化鋁和氧化硅作為兩種常用的拋光磨料,以其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì),在該領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。吉致電子憑借深厚的行業(yè)積累,為您深入剖析這兩種材料在藍(lán)寶石襯底 CMP 拋光中的特性與應(yīng)用。氧化鋁在拋光中的特性硬度匹配優(yōu)勢(shì)α-氧化鋁的硬度與藍(lán)寶石極為接近,這一特性在拋光過(guò)程中具有關(guān)鍵意義。理論上,相近的硬度可能會(huì)增加劃傷藍(lán)寶石表面的風(fēng)險(xiǎn),但在實(shí)際應(yīng)用中,只要確保氧化鋁磨料的顆粒形狀規(guī)則、粒徑分布均勻,就能有效避免劃傷。在拋光壓力作用下,憑
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[行業(yè)資訊]金剛石研磨液在CMP工藝中的應(yīng)用與優(yōu)勢(shì)[ 2025-04-01 15:37 ]
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金及精密制造行業(yè)的關(guān)鍵工藝,用于實(shí)現(xiàn)材料表面的超精密平坦化。針對(duì)藍(lán)寶石、碳化硅(SiC)、硬質(zhì)合金等高硬度材料的加工需求,傳統(tǒng)研磨液難以滿(mǎn)足高精度、低損傷的要求,因此CMP拋光液、CMP拋光墊是滿(mǎn)足高精度工件平坦化的重要耗材。其中金剛石研磨液憑借其超硬特性和穩(wěn)定可控性,通過(guò)精準(zhǔn)調(diào)控化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同效應(yīng)(Chemo-Mechanical Synergy)實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)表面。1. 金剛石CMP研
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的核心步驟,而拋光液(Slurry)的性能直接影響芯片的良率和可靠性。隨著制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮至5nm、3nm甚至更先進(jìn)工藝,對(duì)CMP拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性、材料選擇性和缺陷控制提出了更高要求。作為CMP材料解決方案提供商,吉致電子持續(xù)優(yōu)化拋光液技術(shù),助力客戶(hù)突破先進(jìn)制程瓶頸。1. 基本組成與功能CMP拋光液由磨料顆粒、化學(xué)添加劑和超純水組成,通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)晶圓表面納米級(jí)平坦化。磨料顆粒:SiO?(二氧化硅):廣泛用于氧化物拋光,具有高
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[行業(yè)資訊]半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料[ 2025-03-19 10:48 ]
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過(guò)獨(dú)特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式,幫助實(shí)現(xiàn)晶圓表面的納米級(jí)平坦化,為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry? 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中
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[行業(yè)資訊]CMP拋光液:從第一代到第三代半導(dǎo)體材料的精密拋光利器[ 2025-03-14 15:21 ]
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝在集成電路制造中的地位愈發(fā)重要。CMP拋光液作為這一工藝的核心材料,不僅廣泛應(yīng)用于傳統(tǒng)的第一代和第二代半導(dǎo)體材料,如硅(Si)和砷化鎵(GaAs),更在第三代半導(dǎo)體材料的拋光中展現(xiàn)出巨大的潛力。CMP拋光液在第三代半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用第三代半導(dǎo)體材料以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石和氮化鋁(AlN)為代表,具有寬禁帶、高導(dǎo)熱率、抗輻射能力強(qiáng)、電子飽和漂移速率大等優(yōu)異特性。這些材料在高溫、高頻、大功率電子器件中表現(xiàn)突出,成為5G基站、新能
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子解析:磷化銦襯底怎么拋光研磨[ 2025-03-07 15:22 ]
磷化銦(InP)作為Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體的典型代表,憑借其高電子遷移率、寬禁帶寬度和良好的光電性能,在光通信器件、激光器和探測(cè)器等領(lǐng)域占據(jù)關(guān)鍵地位。其精密加工要求嚴(yán)苛,尤其是表面粗糙度需達(dá)到納米級(jí)(Ra < 0.1nm),傳統(tǒng)機(jī)械研磨易導(dǎo)致晶格損傷,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)則成為實(shí)現(xiàn)原子級(jí)平整表面的核心工藝。吉致電子將系統(tǒng)介紹InP磷化銦襯底CMP拋光從粗磨到精拋的流程及控制要點(diǎn)。一、Inp磷化銦拋光準(zhǔn)備工作材料:準(zhǔn)備好磷化銦工件,確保其表面無(wú)明顯損傷、雜質(zhì)。同時(shí)準(zhǔn)備吉致電子CMP研磨墊,如聚氨酯拋光墊,其
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[常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體銅CMP拋光液:銅互連工藝的核心材料[ 2025-02-25 14:44 ]
半導(dǎo)體銅化學(xué)機(jī)械拋光液(Copper CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中銅互連層化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的關(guān)鍵材料。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,銅CU因其低電阻率和高抗電遷移性能,取代鋁成為主流互連材料。銅CMP拋光液在銅互連工藝中起到至關(guān)重要的作用,確保銅層平整化并實(shí)現(xiàn)多層互連結(jié)構(gòu),CU CMP Slurry通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)銅層的高精度平整化和表面質(zhì)量控制。。 一、Copper CMP Slurry銅CMP拋光液的組成:主要磨料顆粒(Abrasive Particles)有二氧化硅(
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[行業(yè)資訊]突破技術(shù)壁壘:國(guó)產(chǎn)拋光墊替代Suba800的崛起之路[ 2025-02-14 16:02 ]
國(guó)產(chǎn)替代Suba800拋光墊(CMP Pad)的產(chǎn)品在近年來(lái)取得了顯著的技術(shù)進(jìn)步,逐漸在半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)上占據(jù)一席之地。以下是Suba拋光墊國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn):一、Suba拋光墊國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)1.成本優(yōu)勢(shì)?國(guó)產(chǎn)CMP拋光墊的價(jià)格通常比進(jìn)口產(chǎn)品低,能夠顯著降低生產(chǎn)成本,尤其適合對(duì)成本敏感的企業(yè)。?減少了進(jìn)口關(guān)稅和物流費(fèi)用,進(jìn)一步降低了采購(gòu)成本。2.供應(yīng)鏈穩(wěn)定?國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)避免了國(guó)際供應(yīng)鏈的不確定性(如貿(mào)易摩擦、物流延遲等),供貨周期更短,響應(yīng)速度更快。?國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商通常能提供更靈活的CMP拋光耗材訂單服務(wù),支持
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[行業(yè)資訊]CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄[ 2025-02-12 16:24 ]
CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)技術(shù)在光學(xué)制造領(lǐng)域確實(shí)扮演著至關(guān)重要的角色,尤其是在高精度光學(xué)元件的加工中。CMP拋光液通過(guò)化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超平滑處理,滿(mǎn)足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對(duì)表面粗糙度和形狀精度的嚴(yán)苛要求。 吉致電子光學(xué)玻璃CMP Slurry的應(yīng)用領(lǐng)域:①精密光學(xué)鏡頭:在手機(jī)攝像頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中,通過(guò)CMP工藝和拋光液的拋磨可使光學(xué)鏡頭元件在光線(xiàn)折射與散射方面得到有效優(yōu)化,成像質(zhì)量大幅提升。確保了鏡頭的高分辨率和成像質(zhì)量。②航空航天光學(xué)窗口:航空航天光學(xué)窗口面臨復(fù)雜空間環(huán)
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[常見(jiàn)問(wèn)題]影響碳化硅襯底質(zhì)量的重要工藝參數(shù)有哪些[ 2025-01-31 17:33 ]
碳化硅襯底提高加工速率和良品率的主要因素除了用對(duì)拋光液和拋光墊,在CMP拋光研磨過(guò)程的工藝參數(shù)也很重要:拋光壓力:適當(dāng)增加壓力可以提高拋光效率,但過(guò)高的壓力可能導(dǎo)致襯底表面產(chǎn)生劃痕、損傷甚至破裂。一般根據(jù)襯底的厚度、硬度以及拋光設(shè)備的性能,壓力范圍在幾十千帕到幾百千帕之間。拋光轉(zhuǎn)速:包括襯底承載臺(tái)的轉(zhuǎn)速和拋光墊的轉(zhuǎn)速。轉(zhuǎn)速影響拋光液在襯底和拋光墊之間的流動(dòng)狀態(tài)以及磨料的磨削作用。較高的轉(zhuǎn)速可以加快拋光速度,但也可能使拋光液分布不均勻,導(dǎo)致表面質(zhì)量下降。轉(zhuǎn)速通常在每分鐘幾十轉(zhuǎn)到幾百轉(zhuǎn)之間調(diào)整。拋光時(shí)間:由襯底需要去除
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[行業(yè)資訊]吉致電子:SIC碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案[ 2025-01-23 17:18 ]
SiC CMP拋光液是一種用于對(duì)碳化硅襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的關(guān)鍵材料,通過(guò)化學(xué)腐蝕和機(jī)械磨損的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)碳化硅襯底表面材料的去除及平坦化,從而提高晶圓襯底的表面質(zhì)量,達(dá)到超光滑、無(wú)缺陷損傷的狀態(tài),滿(mǎn)足外延應(yīng)用等對(duì)襯底表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。目前碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案:①碳化硅硬度高:碳化硅硬度僅次于金剛石,這使得其拋光難度較大。需要研發(fā)更高效的磨料和優(yōu)化拋光液配方,以提高對(duì)碳化硅的去除速率。例如,采用高硬度、高活性的磨料,并優(yōu)化磨料的粒徑分布和形狀,同時(shí)調(diào)整化學(xué)試劑的種類(lèi)和濃度,增強(qiáng)
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[吉致動(dòng)態(tài)]2025碳化硅襯底CMP工藝流程[ 2025-01-21 16:52 ]
碳化硅襯底CMP工藝流程如下:準(zhǔn)備工作:對(duì)碳化硅SiC襯底進(jìn)行清洗和預(yù)處理,去除表面的灰塵、油污等雜質(zhì),保證襯底表面潔凈。同時(shí),檢查CMP拋光設(shè)備是否正常運(yùn)行,調(diào)整好吉致電子碳化硅專(zhuān)用拋光墊的平整度和壓力等參數(shù)。拋光液涂覆:通過(guò)自動(dòng)供液系統(tǒng),按照一定的流量和頻率進(jìn)行參數(shù)調(diào)整,確保拋光液在拋光過(guò)程中始終充足且均勻分布。CMP拋光過(guò)程:將SiC襯底固定在拋光機(jī)的承載臺(tái)/無(wú)蠟吸附墊,使其與涵養(yǎng)拋光液的拋光墊接觸。拋光機(jī)帶動(dòng)襯底和拋光墊做相對(duì)運(yùn)動(dòng),在一定的壓力和轉(zhuǎn)速下,拋光液中的磨料對(duì)碳化硅襯底表面進(jìn)行機(jī)械磨削,同時(shí)拋光液
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