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    吉致電子氮化鋁陶瓷基片拋光

    文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2023-12-08 16:41【

    氮化鋁陶瓷基板具有高導熱率、低介電常數、低熱膨脹系數、高機械強度、高耐腐蝕性等特點。其作為電路元件及互連線承載體,廣泛應用再軍事和空間技術通訊、計算機、儀器儀表、半導體電子設備、汽車等各個領域。氮化鋁陶瓷經過CMP拋光后可用于半導體激光器、固體繼電器、大功率集成電路及封裝等要求絕緣又高散熱的大功率器件上。

    吉致電子氮化鋁陶瓷拋光液可達鏡面效果,特點如下:

    1、納米級拋光液,拋光后具有較優的粗糙度

    2、陶瓷基片拋光液綠色無污染、不含鹵素及重金屬元素

    3、拋光液可循環使用,根據工藝要求可添加去離子水稀釋

    氮化鋁陶瓷基板通過CMP化學機械平面拋光工藝,結合吉致電子平面研磨機配合研磨液、拋光液、研磨盤就可以達到理想鏡面效果。

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