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    吉致電子拋光材料 源頭廠家
    25年 專注CMP拋光材料研發與生產

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    碳化硅拋光墊/復合無紡布墊Suba800國產替代

    產品分類: 拋光墊
      吉致電子拋光墊
      產品名稱:碳化硅拋光墊/復合無紡布拋光墊
      產品厚度:1.2mm-3mm(可定制)
      開槽規格:10×10--20×20(可定制)
      產品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
      產品特點:高平坦性、低缺陷性和高性價比
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        復合無紡布拋光墊·參數吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

        產品分類:吉致電子·拋光墊

        產品名稱:無紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代

        品厚度:1.2-3mm(可定制)

        開槽規格:10×10--20×20(可定制)

        產品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)

        吉致電子拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求,針對碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性價比等優勢。

        產品工藝及用途:特殊纖維結構高耐磨的拋光材料,適用于碳化硅SIC/再生晶圓/各類三五族或二六族等晶圓,如藍寶石、砷化鎵、氮化鋁等拋光,也適用于各類襯底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。


        碳化硅拋光墊·特點

        吉致電子碳化硅SIC拋光液開槽拋光墊

        標準槽深為拋光墊厚度1/2 可以按客戶不同開槽要求定制

        碳化硅拋光墊SUBA800替代

        吉致電碳化硅拋光墊的特點

        • 結合硬質和軟質研磨拋光墊的優點,可兼顧工件的平坦度與均勻度

        • 提供更快磨合的全局平坦性,提升碳化硅晶圓制程的穩定性與尺寸精密度

        • 壓紋和開槽工藝,PAD可保持拋光液/研磨液良好的流動性,不易沾粘,更易清洗

        • 特殊纖維材質,耐用、耐磨、耐酸堿,價比高

        吉致電子SIC襯底CMP粗拋工藝效果:

        SIC碳化硅粗拋工藝在實際應用中使用吉致電子碳化硅拋光液(JZ-8010)與 JZ3020拋光墊拋磨后,碳化硅表面RA值=0.13nm

        SIC粗拋工藝 碳化硅拋光墊

        想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數與方案,歡迎來電咨詢


        • 吉致電子復合拋光墊 無紡布拋光墊


        碳化硅拋光墊輔料參數:

        拋光墊背膠:

        吉致電子每種拋光墊都可以根據客戶要求提供背膠需求(3M/國產),使用時粘結牢固,且使用后易于從盤面剝離。

        背膠用途:

        液晶玻璃基板的研磨布,研磨墊的固定。

        晶圓,硬盤基板等研磨布的固定。


        CMP墊的固定。

        Rubbing Cloth固定等。

        高彈緩沖墊及吸附墊:

        可以根據客戶需求提供緩沖墊和吸附墊。緩沖墊是靈活應用高分子工業技術所研發出的高發泡硅膠泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐熱性、耐寒性、低燃燒性等特點,可適用于貼合拋光阻尼布加工制成不同厚度的拋光墊,從而使拋光效果更佳更容易保護拋光工件。


        吉致電子碳化硅拋光墊價格實惠:

        吉致電子拋光墊生產引進國外技術,可以媲美進口拋光墊產品(Fujiba/SUBA/環球等國產替代)品質穩定。

        選擇吉致電子拋光墊產品,價格美麗,比進口拋光墊便宜,交貨期穩定,性價比更高!

        吉致電子研發團隊--15年經驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

        吉致電子 拋光液研發團隊

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