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    藍寶石襯底研磨用什么拋光液

    文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2023-08-25 13:36【

    CMP工藝怎么研磨藍寶石襯底?需要搭配什么拋光液?藍寶石拋光萬能公式:粗拋、中拋、精拋,每道工序使用不同磨料的拋光液和拋光PAD

    ①藍寶石CMP粗磨:藍寶石襯底粗磨可以選擇硬度高切削力強的吉致金剛石研磨液,搭配金剛石磨盤,速率高效果好可有效去除藍寶石表面的不平和劃痕。

    藍寶石襯底拋光液.jpg

    藍寶石CMP中拋:這一步可以用銅盤+小粒徑的金剛石研磨液,用來去除粗拋留下的紋路,為鏡面拋光做前期準備。

    藍寶石CMP精拋:CMP精拋是藍寶石襯底最后一道工序,需要用到拋光墊+納米氧化硅拋光液來收光,呈現平坦無暇的鏡面效果。

    藍寶石拋光要根據表面情況來選擇不同規格粒徑的拋光液,選對拋光液會讓拋光效果加倍。

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