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- [常見問題]氮化鎵晶片CMP無蠟吸附墊--解鎖半導(dǎo)體高精度制程的關(guān)鍵[
2025-12-05 17:55
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氮化鎵CMP拋光工藝中無蠟吸附墊的核心必要性：解鎖高精度制程的關(guān)鍵在氮化鎵（GaN）作為第三代半導(dǎo)體核心材料的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是決定器件表面質(zhì)量、電性能及可靠性的核心制程環(huán)節(jié)。氮化鎵材料具有高硬度、高脆性、晶格結(jié)構(gòu)致密等特性，傳統(tǒng)CMP工藝中常用的有蠟吸附墊（如石蠟、樹脂蠟基吸附材料）已難以滿足其高精度加工需求。無蠟吸附墊憑借其獨特的材料設(shè)計與工藝適配性，成為氮化鎵CMP拋光中不可替代的關(guān)鍵組件，其必要性主要體現(xiàn)在以下五大核心維度：一、規(guī)避材料損傷，保障氮化鎵晶圓完整性氮化鎵的斷裂韌性僅為硅的1
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http://www.lygpingan.cn/Article/dhjjpcmpwl_1.html
- [吉致動態(tài)]吉致電子 Diamond slurry多晶金剛石研磨液[
2023-09-19 17:15
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吉致電子多晶金剛石研磨液---由優(yōu)質(zhì)多晶金剛石微粉復(fù)合分散劑和分散介質(zhì)制備而成，廣泛適用于半導(dǎo)體行業(yè)、金屬行業(yè)、光電行業(yè)等工件的研磨加工。金剛石研磨液主要應(yīng)用領(lǐng)域：藍(lán)寶石加工----用于藍(lán)寶石A向、C向、R向、M向，藍(lán)寶石LED襯底、藍(lán)寶石蓋板、藍(lán)寶石窗口片。半導(dǎo)體加工----單晶/多晶硅、碳化硅SIC、氮化鎵晶圓片加工陶瓷材料加工--氧化鋯指紋識別片，氧化鋯陶瓷手機(jī)后殼，氮化鋁陶瓷以及其他功能陶瓷加工。光學(xué)晶體加工--硒化鋅晶體、硫化鋅晶體以及其他晶體材料加工。金屬材料加工--不銹鋼、鋁合金、硬質(zhì)合金、鎢鉬合金以
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http://www.lygpingan.cn/Article/jzdzdiamon_1.html
吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些